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LEISTUNGEN



Erstellung des
Strukturlayouts


Strukturentwurf



Erstellung der Masken

Elektronenstrahllithografie
Beschichtung mit
metallischen Schichten



Schichten

  • Weißchrom / HRC - High Reflective Chrome
  • Schwarzchrom / LRC - Low Reflective Chrome
  • Silber
  • Aluminium


Belichtung und
Entwicklung


Photolithographie
  • Belichtung von Glas- und Keramiksubstraten
  • Überdeckung mehrerer Belichtungsebenen
  • kleinste Strukturen ca. 1,0 µm
  • Montagegenauigkeit 0,15 µm
  • technische Spezifikationen



Ätzen und Auslegen
von Strukturen

  • Flusssäureätzen von Glas
  • kleinste Strukturen ca. 5,0 µm
  • Auslegen der Strukturen
  • Herstellung beleuchtbarer Skalen und Strichplatten




Antireflexbeschichtung


Gedampfte und gesputterte

  • Einfach-AR-Schichten
  • Breitband-AR-Schichten




Mechanische
Bearbeitung

  • Schneiden
  • Rundieren
  • Facettieren
  • Anfertigung spezieller Substrate
  • Beachten Sie dazu bitte unser Leistungsspektrum im Bereich Optische Komponenten


Verkitten und
Montage

  • Verkitten mit Deckgläsern oder anderen Komponenten
  • Montage in Fassungen
  • Montage von kompletten Systeme

 
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