Für die Halbleiterindustrie entwickeln und fertigen wir Präzisionsoptiken und optomechanische Systeme für den DUV-VIS-NIR-Bereich, die in hoch komplexen Anlagen bei der Inspektion von Schichtdicken oder Strukturelementen und dem Alignement und der Prozesskontrolle zum Einsatz kommen.
Für spezielle Anwendungen produzieren wir elektrostatische Chucks mit höchsten Ebenheiten, die bis zum letzten Prozessschritt für sichere und stabile Positionierung in der Anlage sorgen.
Unsere Expertise
Professionelles Projektmanagement komplexer und flexibler Entwicklungsprozesse – Compliance Matrix, SOW, PDR, CDR
Konsequente Umsetzung von ›Copy Exact‹ Anforderungen
Definierte, dokumentierte und stabile Prozesse in allen Bereichen
In-house Bearbeitung und Beschichtung anspruchsvoller Materialien wie Quarzglas, Kalziumfluorid und i-Liniengläser
Herausragende Expertise in Fassungstechnologien für UV-Anwendungen
Langjährige Erfahrung in der Reinraummontage von optomechanischen Modulen
Beispiele & Referenzen
Entwicklung und Fertigung eines Optiksatzes für DUV-NIR
- Kompletter Optiksatz aus Objektiv, Tubuslinse, Relay-Baugruppen für die Waferinspektion
- gefertigt aus Kalziumfluorid und Quarz
- Anwendung im Wellenlängenbereich von 210-1000nm
Entwicklung eines speziellen Mikroskopobjektivs zur Defektinspektion auf Wafern
- Arbeitswellenlänge 355nm mit Autofokus bei 375nm
- mit einem großem Objektfeld von 5mm
- auskorrigiert weit unterhalb des Beugungslimits