Anwendung in Transmission
Chromstrukturierte Verlaufsfilter
Anwendung in Reflexion
Teilerspiegel mit variablem Teilerverhältnis in Verbindung mit höher reflektierenden Schichten
Technologie
- Bestimmung von Transmission bzw. Reflexion durch rechnergenerierten geometrischen Teiler
- Erzeugung des Teilers durch Veränderung des Verhältnisses zwischen transparenten und absorbierenden (auch reflektierenden) Flächen
- Realisierung des Verlaufsfilters bzw. des geometrischen Teilers durch variable Gestaltung der Pixelgöße (ab 2µm Kantenlänge) in konstantem Raster (standardmäßig 50µm, je nach Kundenanforderung variierbar)
- Lineare und nichtlineare Verläufe nach Kundenspezifikation
- Hohe Flexibilität durch eingesetzte Software und fotolithografischen Herstellungsprozess
- Optische Dichte zwischen nahezu Null und 4 bzw. 5; in Abhängigkeit von Wellenlänge und Kundenanforderung
- Muster und Serienstückzahlen in unterschiedlichen Abmessungen möglich
