Ätzprozess Substrat Metallisiertes Substrat (Chrombeschichtung) Metallisiertes Substrat mit Photoresist Belichtung mit Maske und UV-Strahlung (Kontaktkopie) Metallisiertes Substrat mit entwickelter Resistmaske Substrat mit geätzter Metallstruktur DAkkS-Kalibrierung21. Mai 2021Mikrostrukturen Plasmaätzprozess vs. HF-Ätzprozess für Leuchtabsehen25. März 2021Optische Schichten Prüftechnik25. März 2021Mikrostrukturen Variable Verlaufsfilter, Geometrische Strahlteiler27. Februar 2021Mikrostrukturen Lift-Off-Prozess25. Februar 2021Mikrostrukturen Maskenfertigung25. Februar 2021
