Eigenschaften
- Beim Plasmaätzen können kleinste Strukturgrößen von 2µm erreicht werden.
- Diese Strukturen können mit Farbpigmenten gefüllt und durch LED beleuchtet werden, um leuchtende Strukturen zu erzeugen.
- Dabei werden Kontrastwerte wie bei größeren HF geätzten Strukturen erreicht. (Kontrastverhätnis > 0.6)
- Produktdatenblatt Plasmaätzen (EN)
Plasmaätzen
![plasma_etching_001 Maskierung der Struktur](https://www.pog.eu/wp-content/uploads/2021/03/plasma_etching_001-300x72.png)
![plasma_etching_003 Ätzen des Glassubstrats](https://www.pog.eu/wp-content/uploads/2021/03/plasma_etching_002-300x72.png)
![plasma_etching_003 Entfernen der Maskierung und Füllen der Strukturen mit spezieller weißer Farbe](https://www.pog.eu/wp-content/uploads/2021/03/plasma_etching_003-300x72.png)
Nassätzen
![wet_etching_001 Maskierung der Struktur](https://www.pog.eu/wp-content/uploads/2021/03/wet_etching_001-300x72.png)
![wet_etching_002 Ätzen des Glassubstrats](https://www.pog.eu/wp-content/uploads/2021/03/wet_etching_002-300x72.png)
![wet_etching_003 Entfernen der Maskierung und Füllen der Strukturen mit spezieller weißer Farbe](https://www.pog.eu/wp-content/uploads/2021/03/wet_etching_003-300x72.png)
![Horus_Dummy_003_AL_1000x](https://www.pog.eu/wp-content/uploads/2021/04/Horus_Dummy_003_AL_1000x-300x182.jpg)
![Leu_005_500X](https://www.pog.eu/wp-content/uploads/2021/04/Leu_005_500X-300x182.jpg)