Lift-Off-Prozess Substrat Substrats mit Photoresist Belichtung mit Maske und UV-Strahlung (Kontaktkopie) Substrat mit entwickelter Resistmaske Aufdampfen oder Sputtern von Chrom Substrat mit gelifteter Metallstruktur DAkkS-Kalibrierung21. Mai 2021Mikrostrukturen Plasmaätzprozess vs. HF-Ätzprozess für Leuchtabsehen25. März 2021Optische Schichten Prüftechnik25. März 2021Mikrostrukturen Variable Verlaufsfilter, Geometrische Strahlteiler27. Februar 2021Mikrostrukturen Ätzprozess metallische Schichten25. Februar 2021Mikrostrukturen Maskenfertigung25. Februar 2021
